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200工位超高真空排氣設備
更新時間：2022-03-03 10:09:41 字號：T|T


1、產品用途
          用于200工位器件超高真空排氣。

2、技術參數

極限真空

10-8Pa

烘烤溫度

室溫+20℃～180℃

工位數量

200 工位

分區

共分成 4 個分區，每個分區可獨立工作

溫度均勻性

單個溫區內≤±3℃

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